非线性氮化硅波导中的光学带隙工程
光学
2017-08-02 v1 材料科学
摘要
氮化硅是一种成熟的用于光子器件和集成电路的材料。它表现出从可见光到中红外波段的宽透明窗口，且波导可以以低损耗制造。在铒光波通信波段不存在非线性多光子吸收，这使得过去十年中实现了各种非线性光学应用。氮化硅是一种介电材料，其光学和力学性质强烈依赖于沉积条件。特别是，在低压化学气相沉积 (LPCVD) 过程中，可以通过气体流量比来改变光学带隙。本文表明，该参数可以以高度可重复的方式控制，从而提供了一种合成材料非线性 Kerr 系数的方法。这项整体性实证研究为优化 LPCVD 氮化硅波导的性质提供了相关指南，适用于依赖 Kerr 效应的非线性光学应用。
引用
@article{arxiv.1703.05586,
title = {Optical bandgap engineering in nonlinear silicon nitride waveguides},
author = {Clemens J. Krückel and Attila Fülöp and Zhichao Ye and Peter A. Andrekson and Victor Torres-Company},
journal= {arXiv preprint arXiv:1703.05586},
year = {2017}
}