用于 CMOS SAW 谐振器温度控制的片上加热器
其他计算机科学
2008-12-18 v1
摘要
由于表面声波 (SAW) 谐振器中的压电层对温度敏感，因此需要一种实现器件温度稳定性的方法。本文介绍了集成双蛇形多晶硅电阻器的设计、建模和表征，以此作为 CMOS SAW 谐振器温度控制的方法。该设计采用了恒温控制温度稳定方案，即将器件温度提升至高于 Tmax 以维持恒定的器件温度。通过一维偏微分方程模型、三维 CoventorWare 有限元仿真以及使用 Compix 热像仪的测量，验证了多晶硅电阻器作为加热元件的效率。为了验证片上加热器作为温度控制方法的有效性，对加热器和谐振器进行了直流 (DC) 和射频 (RF) 测量。实验结果表明，当加热至 56 deg C 时，CMOS SAW 谐振器的温度系数 (TCF) 已从 -97.2 ppm/deg C 降低至 -23.19 ppm/deg C。
引用
@article{arxiv.0805.0930,
title = {On-Chip Hotplate for Temperature Control of Cmos Saw Resonators},
author = {Anis Nordin and Ioana Voiculescu and Mona Zaghloul},
journal= {arXiv preprint arXiv:0805.0930},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/handle/2042/16838)