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基于嵌入式通道的三维集成电路液体冷却数值分析

应用物理 2020-08-28 v1

摘要

热点是三维集成电路(3D-ICs)高集成密度不可避免的后果之一。消除热点需要采用高效的冷却技术。利用嵌入式通道,可设计液体冷却系统将适量冷却剂输送至芯片的各个位置。本研究采用数值分析方法,考察使用三种冷却剂(水、氟利昂(R22)和液氮(LN))的嵌入式通道对 20 W 热点的冷却效果。热管理与应力研究表明,尽管液氮可提供最低工作温度(164 K),但在 100 mm/s 入口流速下会引起最高应力(355 MPa)。研究还表明,采用平行通道输送冷却剂会导致局部温度和应力的较大差异。这种应力变化可能形成高应力点,从而导致电路失效、性能下降或良率降低。因此,冷却系统与芯片制造应被设计为确保消除高应力热点。

关键词

引用

@article{arxiv.2008.11800,
  title  = {Numerical Analysis of Liquid Cooling of 3D-ICs Using Embedded Channels},
  author = {Sakib Islam and Ibrahim Abdel-Motaleb},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2008.11800},
  year   = {2020}
}

备注

This article has been accepted for presentation in the IEEE-EIT 2020. The article is 6 pages and 12 Figures