用于宽带长波红外成像的单片全硅平面透镜
光学
2021-09-01 v1
摘要
我们设计、制备并表征了一款仅由硅构成的平面多级衍射透镜（MDL），其直径为15.2 mm，焦距为19 mm，工作于8 μm至14 μm的长波红外（LWIR）波段。我们实验演示了46°视场、大于7 mm的焦深以及波长平均斯特列尔比0.46。所有这些指标均与传统的折射透镜相当。该有源器件厚度仅8 μm，其重量（含硅衬底）小于0.2 g。
引用
@article{arxiv.2103.14939,
title = {Monolithic all-Silicon Flat lens for broadband LWIR Imaging},
author = {Orrin Kigner and Monjurul Meem and Brian Baker and Sourangsu Banerji and Philip W. C. Hon and Berardi Sensale-rodriguez and Rajesh Menon},
journal= {arXiv preprint arXiv:2103.14939},
year = {2021}
}