用于毫米波与亚毫米波的平面低损耗硅梯度折射率透镜
天体物理仪器与方法
2019-11-22 v1 光学
摘要
我们提出了一种用于毫米波和亚毫米波、具有极低吸收损耗的平面高阻硅梯度折射率（GRIN）透镜的设计、仿真及计划制造工艺。该梯度折射率由亚波长孔产生，其尺寸随透镜半径增大而增大。由亚波长孔产生的有效折射率在极宽带宽内保持恒定，从而可制造直至亚毫米波长的消色差透镜。所设计的 GRIN 透镜已成功仿真，并显示出优于具有近似相同厚度和焦距的经典硅平凹球面透镜的预期效率。我们将采用深反应离子刻蚀（DRIE）和对数片图案化晶圆的晶圆键合来实现我们的首个 GRIN 透镜原型。
引用
@article{arxiv.1911.09632,
title = {Flat low-loss silicon gradient index lens for millimeter and submillimeter wavelengths},
author = {Fabien Defrance and Cecile Jung-Kubiak and Sofia Rahiminejad and Theodore Macioce and Jack Sayers and Jake Connors and Simon Radford and Goutam Chattopadhyay and Sunil Golwala},
journal= {arXiv preprint arXiv:1911.09632},
year = {2019}
}
备注
J Low Temp Phys (2019)