监测微柱腔中氧化物孔径的形成
光学
2015-06-12 v2 量子物理
摘要
本文提出了一种成像技术，能够监测嵌入微柱中两个分布式布拉格反射镜 (DBR) 之间的薄 AlAs 层的湿法热氧化过程。氧化后，我们通过白光反射光谱证实，已形成被限制在小体积内的高质量光学模式。这两种光学技术的结合为生产具有氧化物孔径的微柱腔提供了一种可靠且高效的方法，其中湿法热氧化是关键的制作步骤。
引用
@article{arxiv.1301.6248,
title = {Monitoring the formation of oxide apertures in micropillar cavities},
author = {Morten P. Bakker and Henk Snijders and Donald J. Suntrup and Tuan-Ahn Truong and Pierre M. Petroff and Martin P. van Exter and Dirk Bouwmeester},
journal= {arXiv preprint arXiv:1301.6248},
year = {2015}
}