MKS 390 微型离子压力表在高压暴露后的性能
仪器与探测器
2025-10-31 v1
摘要
在某些应用中，压力传感器可能会被刻意或意外地暴露于高压环境，这引发对其后续功能性的关注。我们将两个MKS Granville-Phillips 390微型离子压力表进行比较测试，一个曾经暴露于10000 Torr的高压，另一个从未超过1000 Torr的低压。我们的结果表明，两个压力表读数之间的差异在制造商指定的不确定度范围内，表明高压暴露对其性能几乎没有显著影响。此外，高压暴露并未损害压力表的漏气完整性。
引用
@article{arxiv.2510.25980,
title = {MKS 390 Micro-Ion Gauge Performance After Exposure to High Pressures},
author = {Brandon Massett and Walter Shmayda},
journal= {arXiv preprint arXiv:2510.25980},
year = {2025}
}