用于连接量子器件的微观金属悬空桥阵列
介观与纳米尺度物理
2021-04-23 v2 材料科学
其他凝聚态物理
应用物理
量子物理
摘要
我们提出了一种使用电子束光刻三层抗蚀剂工艺单次曝光制备极大量微观悬空桥（air-bridge）的工艺。该技术能够形成具有强金属-金属或金属-衬底连接的悬空桥。我们通过将其应用于一个由400个相同表面栅极定义量子线、并以悬空桥作为表面栅极悬浮连接的电子隧穿器件中证明了这一点。该技术使我们能够创建两端开放的大量均匀一维通道阵列。在本文中，我们概述了制备工艺的细节，以及对技术开发中存在的挑战的研究与解决方案，包括使用水-IPA（异丙醇）显影剂、抗蚀剂厚度校准和显影过程的数值模拟。
引用
@article{arxiv.2102.06123,
title = {Microscopic metallic air-bridge arrays for connecting quantum devices},
author = {Y. Jin and M. Moreno and P. M. T. Vianez and W. K. Tan and J. P. Griffiths and I. Farrer and D. A. Ritchie and C. J. B. Ford},
journal= {arXiv preprint arXiv:2102.06123},
year = {2021}
}
备注
6 pages, 5 figures; This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and AIP Publishing