微偏折测量术：一种具有纳米级高度分辨率获取三维微观形貌的新型工具
光学
2009-11-13 v2
摘要
我们介绍了“微偏折测量术”(microdeflectometry)，这是一种测量镜面表面微观形貌的新技术。其主要数据是待测表面的局部斜率。测量斜率而非高度意味着具有高信息效率和对局部形状不规则性的极高灵敏度。其横向分辨率可优于 1 微米，而所得的高度分辨率在纳米量级。微偏折测量术可辅以扩展景深的方法，具有提供具有类似扫描电子显微镜 (SEM) 特征的定量 3D 成像的潜力。
引用
@article{arxiv.0710.4505,
title = {Microdeflectometry - a novel tool to acquire 3D microtopography with nanometer height resolution},
author = {Gerd Häusler and Claus Richter and Karl-Heinz Leitz and Markus C. Knauer},
journal= {arXiv preprint arXiv:0710.4505},
year = {2009}
}
评论
3 pages, 11 figures, latex, zip-file, accepted for publication at Optics Letters