用于宽带激光束扫描的微悬臂集成光子电路
光学
2023-05-31 v2 应用物理
摘要
激光束扫描是许多应用的核心，包括显示、显微镜、三维建图和量子信息。将扫描器缩小至微芯片尺寸推动了光学相控阵和焦平面开关阵列的超大规模光子集成电路的发展。一个突出的挑战仍是同时实现紧凑占位面积、宽波长工作范围和低功耗。在此，我们介绍了一种满足这些要求的激光束扫描器。利用嵌入氮化硅纳米光子电路的微悬臂，我们展示了波长从 410 nm 到 700 nm 的宽带一维和二维光转向。该微悬臂具有约 0.1 mm 的超紧凑面积，消耗约 31 至 46 mW 的功率，控制简单，并发射单一光束。微悬臂在 200 mm 硅晶片上的有源光子平台中单片集成。该微悬臂集成光子电路使光投影仪小型化并简化，从而实现多功能、节能且宽带的激光扫描微芯片。
引用
@article{arxiv.2207.12374,
title = {Microcantilever-integrated photonic circuits for broadband laser beam scanning},
author = {Saeed Sharif Azadeh and Jason C. C. Mak and Hong Chen and Xianshu Luo and Fu-Der Chen and Hongyao Chua and Frank Weiss and Christopher Alexiev and Andrei Stalmashonak and Youngho Jung and John N. Straguzzi and Guo-Qiang Lo and Wesley D. Sacher and Joyce K. S. Poon},
journal= {arXiv preprint arXiv:2207.12374},
year = {2023}
}