面向创新空间应用的 MEMS 镜制造与测试
天体物理仪器与方法
2020-06-23 v1 仪器与探测器
光学
摘要
在由 INFN 牵头、于 2019–2021 年资助的 GLARE-X（从空间进行激光测距的大地测量 Geodesy via LAser Ranging from spacE X）项目框架下，旨在显著推进空间大地测量学，本文展示了 2019 年开展的用于制造和测试自适应镜的初期活动。本特定文章涉及用于 MRR（调制后向反射器 Modulated RetroReflectors）的“候选”MEMS（微机电系统 Micro-Electro-Mechanical Systems）镜无源基底的制造与表面质量测量；后续出版物将展示有源组件。GLARE-X 项目于 2019–2021 年获 INFN 批准：其涉及多个机构，其中包括 INFN-LNF 和 FBK。GLARE-X 是一项创新性研发活动，其宏大的空间大地测量目标涉及以下主题：逆向激光测距（从空间激光终端至行星表面目标）、用于碎片清除与迭代轨道修正的激光测距、高端 ToF（飞行时间 Time of Flight）电子器件开发、空间用 MRR 制造与测试，以及为未来 NEO（近地轨道 Near Earth Orbit）立方星提供微反射器。本特定文章总结了在将依次组装为 MRR 的“候选”MEMS 镜无源基底上进行的制造与表面质量测量活动。将于 2021 年实现的终极有源组件将继承通过所述（及进一步）测试活动选定的制造特性，并可在 NEO、月球和火星设备中找到合适的空间应用，例如用于激光测高与激光通信支撑的协作式及有源激光雷达散射体。
引用
@article{arxiv.2006.12256,
title = {MEMS Mirror Manufacturing and Testing for Innovative Space Applications},
author = {A. Bagolini and M. Boscardin and S. Dell'Agnello and G. Delle Monache and M. Di Paolo Emilio and L. Porcelli and L. Salvatori and M. Tibuzzi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2006.12256},
year = {2020}
}
备注
9 pages, 5 figures