激光诱导致密化机制

熔融石英是紫外光学系统（如微光刻系统中的投影光学器件）的首选材料。不幸的是，熔融石英在紫外辐照下不稳定，会发生致密化和色心形成。熔融石英的紫外损伤特性已被多项研究关注。色心形成的详细微观机制复杂且仍不明晰，但致密化必然是玻璃态系统的一个普适性质这一事实似乎被大多数研究者忽视，尽管 Krajnovich 等人曾针对特定玻璃模型简要讨论过致密化。本札记旨在简要讨论致密化的基本机制如何直接源于对玻璃态系统的现代理论认识。这一对致密化基本机制的认识与实验数据吻合良好，并可预测一些迄今尚未经实验确定的致密化定性性质，例如致密化起始无最小损伤阈值，以及在校大收缩发生后致密化最终长期停止。