用于显微应用且具有单级隔振的低振动实验室
仪器与探测器
2018-02-21 v1
摘要
本文讨论了一个用于显微应用的低振动实验室的构建及其振动性能，该实验室包含一个由被动气动隔振器（空气弹簧）支撑的100吨浮动地基，而空气弹簧自身搁置在200吨实心底板上。空气弹簧系统的优化使得浮动地板上的振动水平在大多数频率下低于10 ng加速度所引起的振动。额外的声学隔离与电磁隔离通过房中房概念实现。
引用
@article{arxiv.1802.05621,
title = {Low Vibration Laboratory with a Single-Stage Vibration Isolation for Microscopy Applications},
author = {Bert Voigtländer and Peter Coenen and Vasily Cherepanov and Peter Borgens and Thomas Duden and F. Stefan Tautz},
journal= {arXiv preprint arXiv:1802.05621},
year = {2018}
}