具有圆柱形惯性块几何结构的低振动实验室设计与表征
仪器与探测器
2021-01-19 v1
摘要
许多现代纳米加工和成像技术需要超安静环境以达到最佳分辨率。与环境振动的隔离通常通过将灵敏仪器置于漂浮在空气弹簧上并包围以声屏障的厚重块体之上来实现。由于典型建筑噪声在 120 Hz 以上衰减，将惯性块和仪器的弯曲共振频率提升至远高于 120 Hz 是有利的。然而，使用简单的矩形设计难以获得浮动块的高基频。在此我们设计、构建并表征了一个具有圆柱形惯性块的振动隔离系统，其最低共振频率 249 Hz 在有限元分析模拟与直接测量的模态之间表现出良好一致。我们的模拟表明，相同质量的圆柱形设计可比矩形设计实现更高的基频共振。
引用
@article{arxiv.2101.06815,
title = {Design and characterization of a low-vibration laboratory with cylindrical inertia block geometry},
author = {Wenjie Gong and Yu Liu and Wan-Ting Liao and Joseph Gibbons and Jennifer E. Hoffman},
journal= {arXiv preprint arXiv:2101.06815},
year = {2021}
}
备注
accepted to Review of Scientific Instruments