利用改性光刻胶实现Fe部分填充多壁碳纳米管的版图定义位点选择性生长
应用物理
2019-08-08 v1 材料科学
摘要
以铁（III）乙酰丙酮化物（Fe(acac)3）粉末与传统光刻胶的简单混合物为前驱，在850 {\deg}C下通过丙烷化学气相沉积生长出部分Fe填充的多壁碳纳米管（MWCNTs）。扫描电子显微镜显示，在Si衬底上形成了平均直径为70 nm的催化纳米颗粒，其决定了MWCNTs的直径。透射电子显微镜表明，这些纳米管具有多壁结构并部分填充Fe。通过简单的光刻路线实现了部分Fe填充MWCNTs的位点选择性生长。
引用
@article{arxiv.1908.02450,
title = {Lithographically defined site-selective growth of Fe filled multi-walled carbon nanotubes using a modified photoresist},
author = {Joydip Sengupta and Avijit Jana and N. D. Pradeep Singh and Chacko Jacob},
journal= {arXiv preprint arXiv:1908.02450},
year = {2019}
}
备注
Filled CNT, CVD, Partial filling, Photolithography