用于光学表面粗糙度与点吸收体层析成像的激光扫描显微术
光学
2023-12-20 v2
摘要
高精度激光干涉仪器需要轮廓近乎完美且低散射、低吸收的光学表面。尤其是点吸收体问题突出，因为它们在高光强下受热并局部形变原本平坦的表面，导致吸收与轮廓相关。在此，我们提出一种激光扫描显微方法来重建光学表面的两幅互补图像。'相位图像'与包括粗糙度的表面轮廓相关。'损耗图像'定位点吸收体。我们的实验达到高达(3.1 1.4) fm/的灵敏度和(5.29 0.06) m的横向分辨率。两幅图像对某些特征显示出相关性，证明了我们层析方法的独特优势，应有助于进一步改善光学表面或理解表面物理的动态过程。
引用
@article{arxiv.2310.14847,
title = {Laser Scanning Microscopy for Tomographic Imaging of Roughness and Point Absorbers in Optical Surfaces},
author = {Leif Albers and Malte Hagemann and Roman Schnabel},
journal= {arXiv preprint arXiv:2310.14847},
year = {2023}
}