多层陶瓷生坯复合材料的大面积辊压印

本文报告了我们在利用辊压印技术开发多层陶瓷生坯复合材料大面积图案化方面取得的成果。本研究旨在利用改进的辊层压装置对大面积陶瓷生坯复合材料进行图案化，该装置与丝网印刷机兼容，可实现压印与丝网印刷的集成。如图 1 所示，我们的辊压印装置由辊 1 和辊 2 组成：辊 1 加热至所需的压印温度，而辊 2 保持在室温。模具为镍模板，通过在厚度为 70 $\mu$m 的镍膜上电镀镍基微图案（高度：50 $\mu$m）制成；辊压印的基底为多层 Heraeus Heralock HL 2000 陶瓷生坯复合材料。与传统的同步压印相比，辊压印的优势包括：(1) 压印力低；(2) 脱模容易；(3) 与加热器接触的区域局部化等。我们已在上述基底上展示了 150mm x 150mm 面板尺寸的大面积辊压印能力。我们探索并确认了参数（进给速度、辊温及施加压力）对辊压印图案质量的影响。此外，在优化的工艺参数下，我们表征了面板区域内图案尺寸的变化，并计算了缩放因子以使面板与其他工艺兼容。图 2 展示了 150mm x 150mm 陶瓷生坯面板上的压印图案。