基于原位高温X射线衍射的$\kappa$至$\beta$-Ga$_2$O$_3$相变动力学研究
材料科学
2026-04-07 v1
摘要
通过原位高温X射线衍射，研究了至-GaO相变的动力学学。我们制备了五批命名为纯-Ga2O3薄膜，其在c面蓝宝石上异晶生长，薄膜厚度从700 nm到1100 nm不等。通过考虑首选取向的修正Rietveld细化法定量提取相分数，并使用Johnson-Mehl-Avrami-Kolmogorov (JMAK)模型分析相变动力学。评估了JMAK模型在薄膜材料中的适用性，并确立了其在薄膜和 Bulk材料中的下限和上限。基于此分析，我们开发了一种特别适用于薄膜动力学研究的方法，该方法在所有五个样本批次中均yielded可重复且稳健的结果。结果表明，约700-1100 nm厚度的薄膜中的至相变最佳描述为一种界面控制、取点饱和的核化，伴随厚度受限或有效二维生长。
引用
@article{arxiv.2604.04318,
title = {Kinetics studies on $\kappa$ to $\beta$-Ga$_2$O$_3$ phase transformations via in-situ high temperature X-ray diffraction},
author = {Jingyu Tang and Po-Sen Tseng and Kunyao Jiang and Rachel C. Kurchin and Robert F. Davis and Lisa M. Porter},
journal= {arXiv preprint arXiv:2604.04318},
year = {2026}
}
备注
6 figures