iPREFER: 面向 BSIM-CMG 模型的基于特征的智能参数提取器
系统与控制
2024-04-12 v1 系统与控制
摘要
本文介绍了一种针对 BSIM-CMG 紧凑模型的创新参数提取方法，无缝集成了曲线特征提取与机器学习技术。该方法为弥合 TCAD 与紧凑模型之间的鸿沟提供了一个有前景的解决方案，对设计技术协同优化（DTCO）流程做出了重要贡献。关键创新在于开发了一个自动化的 IV 和 CV 曲线特征提取器，它不仅简化了器件 IV 和 CV 曲线的分析，还提高了数据处理的一致性和效率。在 5 纳米纳米片器件上的验证突显了该提取器的显著精度，CV 曲线和 IV 曲线的拟合误差分别低至 0.42% 和 1.28%。此外，它对参数变化（包括等效氧化层厚度和栅长）的适应能力，巩固了其彻底改变从 TCAD 到紧凑模型过渡的潜力。这一通用的 BSIM-CMG 模型参数提取器有望改进 DTCO 流程，为半导体器件性能预测提供高效的工艺优化和准确仿真。
引用
@article{arxiv.2404.07827,
title = {iPREFER: An Intelligent Parameter Extractor based on Features for BSIM-CMG Models},
author = {Zhiliang Peng and Yicheng Wang and Zhengwu Yuan and Xingsheng Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2404.07827},
year = {2024}
}
备注
6 pages