微加工器件中表面闪络电压的提升
材料科学
2015-06-11 v3 量子物理
摘要
随着对微加工器件性能提升的需求，施加更大电场和电压的必要性日益凸显。在真空环境下工作时，电压通常受限于沿电介质表面形成的表面闪络。通过改进制造工艺，我们发现可以将闪络电压提高一倍以上。我们的发现对于实现下一代微纳加工器件以及制造用于可扩展离子量子技术的片上离子阱阵列具有重要意义。
引用
@article{arxiv.1208.5672,
title = {Increased surface flashover voltage in microfabricated devices},
author = {R. C. Sterling and M. D. Hughes and C. J. Mellor and W. K. Hensinger},
journal= {arXiv preprint arXiv:1208.5672},
year = {2015}
}