辨识位置相关机械系统：一种应用于柔性晶圆台的模态方法
系统与控制
2020-03-02 v2 信号处理
动力系统
最优化与控制
摘要
运动控制日益严格性能要求需要使用日益精细的系统行为模型。运动系统 inherently 运动，因此柔性动力学的时空模型至关重要。本文提出并应用于轻量原型工业晶圆台的机械系统时空调行为两步辨识方法。所提方法利用模态建模框架，将近年发展的强大线性时不变（LTI）辨识工具与基于样条的振型插值方法结合，以估计空间系统行为。晶圆台应用的实验结果证实了该方法对复杂位置相关机械系统辨识的适用性，及其对运动控制性能提升的潜力。
引用
@article{arxiv.1807.06942,
title = {Identifying Position-Dependent Mechanical Systems: A Modal Approach Applied to a Flexible Wafer Stage},
author = {Robbert Voorhoeve and Robin de Rozario and Wouter Aangenent and Tom Oomen},
journal= {arXiv preprint arXiv:1807.06942},
year = {2020}
}