基于气体动力电子回旋共振等离子体的高功率真空紫外光源
等离子体物理
2022-03-14 v1
摘要
我们报道了在氢气的电子回旋共振（ECR）放电等离子体中产生真空紫外（VUV）辐射的实验结果，该放电由回旋管的强毫米波辐射维持。所考虑放电的显著特征是高等离子体密度（量级为 cm）以及同时具有的高电子平均能量（ eV），这使得由微波辐射沉积到等离子体中的能量经 VUV 再辐射的效率得以显著提高。实验在简单磁镜陷阱中约束等离子体，并在 ECR 条件下由脉冲回旋管辐射 GHz / kW 加热。测得莱曼-alpha 线（ nm，与 Werner 带重叠）、莱曼带（ nm）和分子连续谱（ nm）的体积 VUV 发射功率分别达到 、 和 W/cm。在等离子体体积上积分的这三个波段的总绝对辐射功率估计为 kW，即入射微波功率的 %，与理论预测相符。进一步优化由强回旋管辐射维持的 ECR 氢放电的条件，为开发千瓦功率级的高效技术型 VUV 光源提供了可能。
引用
@article{arxiv.2111.11540,
title = {High Power Vacuum Ultraviolet Source Based on Gasdynamic ECR Plasma},
author = {R. L. Lapin and V. A. Skalyga and S. V. Golubev and I. V. Izotov and S. V. Razin},
journal= {arXiv preprint arXiv:2111.11540},
year = {2022}
}