用于光电机微膜谐振器的氮化硅上石墨烯
介观与纳米尺度物理
2014-02-11 v2
摘要
由于其卓越的力学和光学特性，介电氮化硅 (SiN) 微膜谐振器已成为许多光机实验的核心。将膜与电气系统进行高效的电容耦合将有助于激发混合光电机器件。然而，此类介电膜的电容耦合相当弱。在此，我们在 SiN 微膜上添加单层石墨烯，并将其机电耦合和力学性质与裸介电膜及镀铝层的膜进行比较。发现石墨烯涂层膜的静电耦合等同于完美导电膜。我们的结果表明，单层石墨烯显著增强了机电电容耦合，同时未显著增加质量、降低优异的机械品质因数或影响 SiN 微膜谐振器的光学性质。
引用
@article{arxiv.1305.5890,
title = {Graphene on silicon nitride for optoelectromechanical micromembrane resonators},
author = {Silvan Schmid and Tolga Bagci and Emil Zeuthen and Jacob M. Taylor and Patrick K. Herring and Maja C. Cassidy and Charles M. Marcus and Luis Guillermo Villanueva and Bartolo Amato and Anja Boisen and Yong Cheol Shin and Jing Kong and Anders S. Sørensen and Koji Usami and Eugene S. Polzik},
journal= {arXiv preprint arXiv:1305.5890},
year = {2014}
}