自由曲面高速大振幅变形压电反射镜
光学
2013-11-18 v1
摘要
我们提出了一种新型可调谐反射镜，具有特征鲜明的自由曲面位移分布、数百微米的大位移以及在 15mm 直径下接近 kHz 范围的高工作频率。其致动原理基于最近探索的压电片“拓扑”位移模式。此处展示的prototype包括旋转对称轴锥镜、双曲 sech-icon 和非对称金字塔形 icon，并可扩展至更小尺寸。制造工艺经济且无需洁净室，其光学质量足以展示光学元件的衍射图样。
引用
@article{arxiv.1309.3156,
title = {Freeform high-speed large-amplitude deformable Piezo Mirrors},
author = {Matthias C Wapler and Jens Brunne and Ulrike Wallrabe},
journal= {arXiv preprint arXiv:1309.3156},
year = {2013}
}