用于薄膜晶体管的石墨烯电极飞秒激光图案化
应用物理
2019-02-18 v1 材料科学
摘要
本研究的目的是评估在空气中与真空中对石墨烯进行飞秒激光图案化,以将其用作薄膜晶体管(TFTs)的源极和漏极电极。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱对激光图案化石墨烯的分析表明,与在空气中激光加工相比,在真空中加工产生的碎屑更少,从而样品上再沉积的碳质材料更少。研究发现,由于真空图案化带来的碎屑减少显著改善了TFT特性。迟滞消失,迁移率提升一个数量级,亚阈值摆幅从降低至。
引用
@article{arxiv.1901.10209,
title = {Femtosecond laser patterning of graphene electrodes for thin-film transistors},
author = {Maren Kasischke and Ersoy Subaşı and Claudia Bock and Duy-Vu Pham and Evgeny L. Gurevich and Ulrich Kunze and Andreas Ostendorf},
journal= {arXiv preprint arXiv:1901.10209},
year = {2019}
}