利用飞秒激光制备高品质因子铌酸锂双盘
应用物理
2017-12-06 v1 光学
摘要
我们展示了利用飞秒激光辅助离子束铣削制备高品质因子铌酸锂双盘回音壁微腔。使用该方法,制备了两个垂直堆叠的直径为 30 μm、间隙为 200 nm 的圆盘。利用我们的器件,展示了高达 1.2*10^5 的光学品质因子。我们的方法可扩展至在单芯片上制备多个圆盘。
引用
@article{arxiv.1712.01365,
title = {Fabrication of high quality factor lithium niobate double-disk using a femtosecond laser},
author = {Zhiwei Fang and Ni Yao and Min Wang and Jintian Lin and Jianhao Zhang and Rongbo Wu and Lingling Qiao and Wei Fang and Tao Lu and Ya Cheng},
journal= {arXiv preprint arXiv:1712.01365},
year = {2017}
}
备注
17 pages, 4 figures