利用热激活选择性形貌平衡制备天文X射线反射光栅
天体物理仪器与方法
2021-02-25 v1 材料科学
摘要
热激活选择性形貌平衡（TASTE）能够通过灰度电子束光刻在抗蚀剂中创建3D结构，随后进行热处理以诱导选择性聚合物回流。通过将抗蚀剂中重复的阶梯图案回流成楔状结构，可以创建闪耀光栅形貌。受天文应用驱动，此类周期为840 nm和400 nm的图案已在130 nm厚的PMMA中使用TASTE制备，以作为X射线反射光栅的基底。文中讨论了将这一替代闪耀技术集成到光栅制备工艺中的前进路径。
引用
@article{arxiv.2102.12359,
title = {Fabrication of astronomical x-ray reflection gratings using thermally activated selective topography equilibration},
author = {Jake A. McCoy and Randall L. McEntaffer and Chad M. Eichfeld},
journal= {arXiv preprint arXiv:2102.12359},
year = {2021}
}
备注
21 pages, 8 figures, from a special edition of JVST B for the 62nd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN)