在 GaAs 量子异质结构中制备人造石墨烯
介观与纳米尺度物理
2023-05-03 v2
摘要
石墨烯的异常电子性质是其二维 (2D) 蜂窝晶格的直接结果，近年来引起了极大关注。创建重现石墨烯蜂窝拓扑的人造晶格，即所谓人造石墨烯，有助于在可调谐系统中研究类石墨烯现象，例如无质量狄拉克费米子的存在。本工作中，我们展示了在超高质量 GaAs/AlGaAs 量子阱中制备人造石墨烯，晶格周期小至 50 nm，是迄今报道的此类系统中最小的。我们使用电子束光刻在样品表面定义具有蜂窝几何形状的刻蚀掩模，并对不同方法进行了比较和讨论。开发了一种优化的各向异性反应离子刻蚀工艺，将图案转移到 AlGaAs 层中并创建人造石墨烯。实现如此高分辨率的人造石墨烯，应能首次在工程半导体中观察到无质量狄拉克费米子。
引用
@article{arxiv.1507.04390,
title = {Fabrication of Artificial Graphene in a GaAs Quantum Heterostructure},
author = {Diego Scarabelli and Sheng Wang and Yuliya Y. Kuznetsova and Loren N. Pfeiffer and Ken West and Geoff C. Gardner and Michael J. Manfra and Vittorio Pellegrini and Aron Pinczuk and Shalom J. Wind},
journal= {arXiv preprint arXiv:1507.04390},
year = {2023}
}
备注
13 pages text, 8 figures, plus references