基于扫描探针显微镜自动化实验的介电薄膜漏电研究
材料科学
2022-05-18 v1 应用物理
摘要
利用扫描探针显微镜（SPM）中的自动化实验探究介电薄膜中的电子传导路径。此处，我们采用大视场扫描以定位局域导电点的位置，并开发一种 SPM 工作流程，以自动化方式在更高空间分辨率下探测其随时间和电压及扫描过程的动态行为。利用该方法，我们在 20 nm 厚的铁电 Hf0.54Zr0.48O2 薄膜中观察到导电点的多变行为：连续扫描过程中导电点消失并重新出现，也有新的导电点在扫描过程中出现。该自动化工作流程具有通用性，可集成到包括 SPM、电子显微镜、光学显微镜和化学成像在内的广泛显微技术中。
引用
@article{arxiv.2111.09918,
title = {Exploring leakage in dielectric films via automated experiment in scanning probe microscopy},
author = {Yongtao Liu and Shelby S. Fields and Takanori Mimura and Kyle P. Kelley and Jon F. Ihlefeld and Sergei V. Kalinin},
journal= {arXiv preprint arXiv:2111.09918},
year = {2022}
}
备注
12 pages, 6 figures