利用顶视大尺度AFM评估MOVPE生长的变质结构中的缺陷密度
材料科学
2015-06-08 v1
摘要
我们展示了一种基于原子力显微镜的方法，通过识别由变质生长产生的非平面表面上的穿通位错来估算缺陷密度。所讨论的技术可用作外延结构质量的日常评估工具，并降低成本，因为它减少了项目早期阶段所需的透射电子显微镜分析量。应用该技术成功开发了低表面缺陷密度（低于106）的变质结构，证明了其在工艺优化中的有用性。
引用
@article{arxiv.1506.01967,
title = {Evaluation of defect density by top-view large scale AFM on metamorphic structures grown by MOVPE},
author = {Agnieszka Gocalinska and Marina Manganaro and Valeria Dimastrodonato and Emanuele Pelucchi},
journal= {arXiv preprint arXiv:1506.01967},
year = {2015}
}