真空室低温环境下的偏振分析椭偏术
光学
2015-06-16 v1 仪器与探测器
摘要
在本文中，我们描述了一种新型零位椭偏术变体，用于测定低温下基底上薄膜的厚度和光学性质。在椭偏术的 PCSA 排列中，起偏器和补偿器置于基底之前，检偏器置于其后。通常，在零位椭偏术中需旋转起偏器和检偏器以寻找强度最小值。在我们的变体中，我们旋转的是起偏器和补偿器，两者均位于入射光束中基底之前。因此，反射光束的偏振分析可通过固定取向的检偏器实现。我们开发此方法旨在研究真空室内的低温薄膜，其中检偏器和探测器必须置于温度约为 T ≈ 90K 的冷屏内，靠近基底。所有其他光学组件，包括测量过程中需要旋转的所有组件，均安装在真空室外的入射光路上。我们的零位椭偏术变体已在温度约为 T ≈ 25K 下，针对高度取向热解石墨 (HOPG) 基底上的凝聚氪薄膜进行了测试。结果表明，该方法能够以合理的精度测定凝聚氪和 HOPG 基底的折射率以及氪薄膜的厚度。
引用
@article{arxiv.1307.5879,
title = {Ellipsometry with polarisation analysis at cryogenic temperatures inside a vacuum chamber},
author = {S. Bauer and B. Grees and D. Spitzer and M. Beck and R. Bottesch and H. -W. Ortjohann and B. Ostrick and T. Schäfer and H. H. Telle and A. Wegmann and M. Zbořil and C. Weinheimer},
journal= {arXiv preprint arXiv:1307.5879},
year = {2015}
}
备注
22 pages, 12 figures