基于核心损失过滤、位置平均收敛束电子衍射的掺杂剂位点占据率测定
其他凝聚态物理
2025-10-27 v2 应用物理
摘要
在弹性散射 regime下，探针位置平均收敛束电子衍射（PACBED）图案已被证明对于估计 specimen厚度和mistilt具有鲁棒性。通过仿真，我们展示了核心损失过滤PACBED图案可用于测量已知晶体结构中少量掺杂剂的位点占据率。通过利用扫描型和常规透射电子显微镜之间的对称性，我们采用传统用于确定掺杂浓度的能量色散X射线谱（EDS）策略来解释核心损失PACBED图案。我们表明，不同元素作用范围的差异阻碍了纯粹基于测量的量化策略，但通过与泛化Cliff-Lorimer k因子的比较可克服这一问题。
引用
@article{arxiv.2508.12532,
title = {Dopant site occupancy determined by core-loss-filtered, position-averaged convergent beam electron diffraction},
author = {Michael Deimetry and Timothy C. Petersen and Matthew Weyland and Scott D. Findlay},
journal= {arXiv preprint arXiv:2508.12532},
year = {2025}
}