具有光谱稳定氮空位中心的金刚石声子晶体自旋机械谐振器
应用物理
2020-01-08 v1 介观与纳米尺度物理
量子物理
摘要
我们报道了嵌入于二维(2D)声子晶体方晶格中的金刚石自旋机械谐振器的设计与制备。该矩形谐振器具有受方晶格声子带隙保护的GHz面内压缩模式。我们开发了一种体体内薄膜(membrane-in-bulk)方法用于制备悬浮二维结构。该方法克服了现有方法的局限性,后者要么与必要的高温热退火不兼容,要么不适用于具有所需特征尺寸的二维结构。采用梯度软氧刻蚀,将刻蚀速率逐渐降低至低于1 nm/min,以去除由反应离子刻蚀损伤的缺陷表面层。将该梯度刻蚀与其他成熟的表面处理技术相结合,将厚度低于1微米的谐振器中氮空位中心的光学线宽减小至窄至330 MHz。
引用
@article{arxiv.1905.01251,
title = {Diamond Phononic Crystal Spin-Mechanical Resonators with Spectrally Stable Nitrogen Vacancy Centers},
author = {Ignas Lekavicius and Thein Oo and Hailin Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1905.01251},
year = {2020}
}