一种含表面活性巯基的紫外光固化聚合物的开发、加工与应用
材料科学
2020-10-23 v1
摘要
我们在此提出一种表面具有活性巯基的新型抗蚀剂配方。该材料可紫外光固化，并可通过紫外纳米压印光刻技术在微纳尺度上进行图形化。本文介绍了该抗蚀剂配方的开发、加工、图形化及表面表征。此外，还展示了一种可能的应用，包括其用于修饰石墨烯器件的电学性质。固化后的材料高度透明、本征亲水，并可在紫外臭氧或 O2 等离子体活化后变得更为亲水。我们评估了不同聚合物配方与固化条件下该聚合物的亲水性。此外，给出了通过纳米压印对聚合物进行微纳尺度图形化的方案，并测量了初步刻蚀速率及聚合物选择性。该聚合物的主要特征与独特优势在于固化后表面及本体均含有巯基官能团。这些基团允许基于巯基的化学（如巯烯反应）进行直接表面修饰。我们通过拉曼光谱证实了巯基的存在，并进行了巯烯反应以展示简易点击化学的潜力。这为纳米压印聚合物样品上极为简便的表面化学开辟了道路。此外，我们展示了该聚合物如何改善石墨烯场效应晶体管的电学性质，使其在环境条件下实现最优性能。
引用
@article{arxiv.2010.11878,
title = {Development, Processing and Applications of a UV-Curable Polymer with Surface Active Thiol Groups},
author = {Manuel Müller and Rukan Nasri and Lars Tiemann and Irene Fernandez-Cuesta},
journal= {arXiv preprint arXiv:2010.11878},
year = {2020}
}