Deal-Grove 氧化与纳米颗粒黏附——一项 AFM 研究
材料科学
2019-02-13 v1
摘要
我们研究了在湿润氮气环境中 32 天内纳米颗粒（平台）周围纳米级氧化层的形成。我们利用原子力显微镜（AFM）测定了平台高度以及移除颗粒所需的横向力。该高度可由 Deal-Grove 模型很好地描述，对应热激活扩散限制氧化过程。此外，我们观察到高度与力似乎相关，表明黏附力的上升主要由氧化过程主导。由于平台是化学结构改变的结果，即使在移除纳米颗粒后，表面仍永久改变。这一观察对许多需要光滑硅表面的应用（如光刻）极为重要，其中微小污染即可引发所观察到的氧化过程并显著增大表面粗糙度。
引用
@article{arxiv.1902.04494,
title = {Deal-Grove Oxidation and Nanoparticle Adhesion - an AFM Study},
author = {Clara C. Wanjura and Daniel Geiger and Irina Schrezenmeier and Matthias Roos and Othmar Marti},
journal= {arXiv preprint arXiv:1902.04494},
year = {2019}
}
备注
8 pages, 8 Figures (incl supplemental material)