用于光子集成电路垂直耦合的弯曲GaAs悬臂波导
光学
2023-11-13 v1 应用物理
摘要
我们报道了基于弯曲GaAs悬臂波导的光学模场转换器耦合器的纳米加工与表征。利用GaAs衬底与沉积的Cr-Ni-Au条带之间的应力失配，可将单模波导以可控方式弯出平面。通过短程力将模场转换器锁定在固定的90角，实现了出耦合器稳定且垂直的取向。我们对光传输随温度与偏振的变化进行了表征，得到了覆盖200 nm波长带宽的宽带芯片到光纤耦合。本文所报道的方法完全兼容基于量子点发射器的量子光子集成电路技术，并为设计具有增强功能的新颖光子器件提供了机遇。
引用
@article{arxiv.2311.06123,
title = {Curved GaAs cantilever waveguides for the vertical coupling to photonic integrated circuits},
author = {Celeste Qvotrup and Zhe Liu and Camille Papon and Andreas D. Wieck and Arne Ludwig and Leonardo Midolo},
journal= {arXiv preprint arXiv:2311.06123},
year = {2023}
}