关联与原位电学透射电子显微镜研究及相关薄膜制备
应用物理
2021-12-03 v2 材料科学
摘要
理解半导体纳米物体的结构、成分与光电特性之间的相互作用，需要将基于透射电子显微镜（TEM）的技术与对同一试样的电学和光学测量相结合。TEM技术的最新进展不仅允许对特定物体进行识别和原位电学表征，还允许通过焦耳加热等技术对其原位改性进行直接可视化。近年来，我们在这些领域开展了若干研究，本文对此进行了综述。特别地，我们在此讨论：i) 对同一独特物体进行电光表征和TEM表征的关联研究；ii) 在TEM中监测固态金属-半导体反应的原位焦耳加热研究；iii) 为更好理解接触单根纳米线电学性质的原位偏置研究。此外，我们提供了对这些关联和原位测量至关重要的氮化硅薄膜的详细制备步骤。
引用
@article{arxiv.2001.09179,
title = {Correlated and in-situ electrical transmission electron microscopy studies and related membrane fabrication},
author = {Maria Spies and Zahra Sadre-Momtaz and Jonas Lähnemann and Minh Anh Luong and Bruno Fernandez and Thierry Fournier and Eva Monroy and Martien I. den Hertog},
journal= {arXiv preprint arXiv:2001.09179},
year = {2021}
}
备注
This is an author-created, un-copyedited version of a topical review published in Nanotechnology. IOP Publishing Ltd. is not responsible for any errors or omissions in this version of the manuscript or any version derived from it. The Version of Record is available online at https://doi.org/10.1088/1361-6528/ab99f0