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含硅纳米晶体的 SiOxNy(Si) 复合层的组分、结构与发光性质

材料科学 2007-05-23 v1

摘要

本文展示了含硅纳米晶体的发光 SiOxNy(Si) 复合层的化学组分、结构与发光性质之间的关系。在具有相对较小硅过量(约 10 at.%)的窄化学组分区域内,观察到光致发光(PL)强度最大值位于 500-600 nm 处。通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)研究了复合层的结构。退火导致纳米晶体的出现,伴随 PL 强度显著增长(30-40 倍),但未改变 PL 光谱形状。通过 X 射线光电子能谱(XPS)技术确定了含过量硅原子的结构发光活性复合物的化学组分。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/0511602,
  title  = {Composition, structure, and luminescent properties of SiOxNy(Si) composite layers containing Si nanocrystals},
  author = {V. G. Baru and I. N. Dyuzhikov and V. I. Pokalyakin and O. F. Shevchenko and E. A. Skryleva and O. M. Zhigalina},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0511602},
  year   = {2007}
}