Zn 在 InP 中的复杂扩散机制
材料科学
2017-08-17 v1
摘要
对体 InP:S 进行了 Zn 掺杂剂的注入与扩散。通过二次离子质谱法和电容-电压法研究了 Zn 浓度分布。我们发现退火的热力学条件影响 Zn 原子的扩散机制。过量磷空位的产生导致 Zn 掺杂剂通过复合物 [V_{P}-Zn_{In}-V_{P}] 扩散，产生具有陡峭斜率的特征扩散分布。这种电学不活跃的 Zn 构型导致其扩散系数低于通常已知的间隙-替位机制中的扩散系数。
引用
@article{arxiv.1708.04852,
title = {Complex diffusion mechanism of Zn in InP},
author = {Rafal Jakiela},
journal= {arXiv preprint arXiv:1708.04852},
year = {2017}
}