压电MEMS执行器直接驱动与参量驱动性能比较
介观与纳米尺度物理
2025-05-06 v1 应用物理
摘要
本工作研究并比较了压电驱动的非线性微机电系统（MEMS）器件对直接驱动和简并参量驱动的响应。我们使用单模展开描述了压电Duffing型非线性MEMS器件中的简并参量放大机制，然后探索了参数空间中参量激励可能优于直接驱动的区域，我们将其标记为“参量优势”。分析、实验和数值验证表明，如果在总电压预算中同时考虑泵浦电压和信号电压，则参量优势不可能存在。这项工作确定了无量纲的标度规则，可作为选择简并参量放大最佳操作状态的指导方针。
引用
@article{arxiv.2505.02237,
title = {Comparing the performance of direct and parametric drives for piezoelectric MEMS actuators},
author = {Samer Houri and Veronique Rochus},
journal= {arXiv preprint arXiv:2505.02237},
year = {2025}
}