基于AlScN的CMOS兼容集成电光调制器

集成光子器件的商业生产受限于理想材料平台的可扩展性。我们探索了一种相对新的光子材料AlScN用于电光调制。其CMOS兼容性可能促进集成光子调制器的大规模生产，而且相对于本征AlN表现出增强的二阶光学非线性，表明可能实现高效调制。本文我们测量了AlScN基调制器的电光效应，证明 $V_{\pi}L$ 约为750 V$\cdot$cm。由于电光响应小于预期， 我们讨论了导致响应减小的潜在原因以及AlScN光子学的未来展望。