在商用硅光子工艺中实现的宽带高效 AlScN-Si 声光调制器
光学
2024-02-05 v1 应用物理
摘要
声光集成提供了众多应用，包括低损耗微波信号处理、非互易光传播、频率梳生成和宽带声光调制。最先进的声光系统主要完全采用内部制造工艺实现，尽管性能优异，但通常良率低且不兼容通过代工工艺进行大规模生产。在此，我们展示了一种在硅光子学代工工艺上实现的高效宽带声光调制器（AOM），能够在同一衬底上实现 AOM 与其他光子及电子器件的高良率、低成本大规模生产。在所报道的结构中，一个 150 μm 长的基于 AlScN 的声学换能器发射表面声波（SAW），该声波调制通过硅光波导的光。在 112 MHz 带宽上实现了 -18.3 dB 的调制效率，据我们所知，这是基于硅的 AOM 中报道的最高效率和带宽组合，与最先进的 CMOS 兼容 AOM 相比，品质因数 提高了约一个数量级。本工作开发的单片集成声光平台将为低成本、微型微波滤波器、真时延、频率梳以及其他具有代工集成光子电路所提供的高级功能的信号处理器铺平道路。
引用
@article{arxiv.2402.01127,
title = {Wideband, Efficient AlScN-Si Acousto-Optic Modulator in a Commercially Available Silicon Photonics Process},
author = {Mertcan Erdil and Izhar and Yang Deng and Zichen Tang and Mohamad Hossein Idjadi and Farshid Ashtiani and Firooz Aflatouni and Roy Olsson},
journal= {arXiv preprint arXiv:2402.01127},
year = {2024}
}