闭环微光机电加速度计
应用物理
2022-05-31 v2 光学
摘要
本文提出了一种基于法布里-珀罗（FP）干涉仪的闭环微光机电系统（MOEMS）加速度计。FP 腔形成于切割后的单模光纤端面与由四个 U 形弹簧悬挂的质量块（PM）横截面之间。施加的加速度倾向于使质量块向相反方向移动。固定梳齿和可动梳齿阵列产生静电力，将质量块维持在其静止位置。能够提供此静电力的电压被视为传感器的输出。采用闭环检测方法可以在不损失分辨率的情况下增大量程。所提出的传感器采用体微加工方法在绝缘体上硅晶圆上制造。传感器表征结果表明，该加速度计在 5 g 范围内具有线性响应。在闭环模式下，传感器的灵敏度和零偏不稳定性分别为 1.16 V/g 和 40 μg。
引用
@article{arxiv.2202.05153,
title = {Closed-Loop MOEMS Accelerometer},
author = {Majid Taghavi and Abolfazl Abedi and Gholam-Mohammad Parsanasab and Mojtaba Rahimi and Mohammad Noori and Hamzeh Nourolahi and hamid latifi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2202.05153},
year = {2022}
}