基于法布里-珀罗微腔的差分 MOEMS 加速度计的设计与制作
应用物理
2022-10-14 v2 光学
摘要
本文提出了一种基于法布里-珀罗(FP)微腔的差分 MOEMS 加速度计。该器件的光学系统由两个 FP 腔组成，机械系统由四个弹簧悬吊的检验质量块构成。施加的加速度会使检验质量块(PM)偏离其静止位置。该机械位移可由检验质量块横截面与光纤端面之间形成的 FP 干涉仪测得。所提出的传感器采用体微加工方法在绝缘体上硅(SOI)晶圆上制作。传感器表征结果表明，该加速度计在 1g 范围内具有线性响应。此外，静态表征中传感器的光学灵敏度和分辨率分别为 6.52 nm/g 和 153 μg。功率测量中的传感器灵敏度为 49.6 mV/g，其谐振频率为 1372 Hz。采用差分测量方法提高了加速度计的灵敏度。根据实验数据，该传感器灵敏度是类似单 FP 腔 MOEMS 加速度计的两倍。
引用
@article{arxiv.2203.02063,
title = {Design and Fabrication of a Differential MOEMS Accelerometer Based on Fabry Perot micro-cavities},
author = {Mojtaba Rahimi and Mohammad Malekmohammad and Majid Taghavi and Mohammad Noori and and Gholam Mohammad Parsanasab},
journal= {arXiv preprint arXiv:2203.02063},
year = {2022}
}
备注
arXiv admin note: text overlap with arXiv:2202.05153