夹持渐缩提升受应力纳米梁的品质因数
应用物理
2019-03-12 v2 介观与纳米尺度物理
摘要
受应力纳米机械谐振器因应力对本征耗散的稀释作用而具有极高的品质因数（）。通常，耗散稀释量及因而谐振器受限于夹持附近的高模态曲率区域。本文研究夹持几何对高应力纳米梁的影响。我们发现，在夹持附近将梁渐缩——并局部增大应力——因耗散稀释增强而提高了MHz频率低阶模态的。与近期关于系留膜谐振器的研究相反，我们发现尽管梁体应力增大，加宽夹持反而降低。相较于近期发展的“软夹持”技术，渐缩夹持具有实际优势：它提高基模的，且可在不增大器件尺寸下实现。
引用
@article{arxiv.1810.00414,
title = {Clamp-tapering increases the quality factor of stressed nanobeams},
author = {Mohammad J. Bereyhi and Alberto Beccari and Sergey A. Fedorov and Amir H. Ghadimi and Ryan Schilling and Dalziel J. Wilson and Nils J. Engelsen and Tobias J. Kippenberg},
journal= {arXiv preprint arXiv:1810.00414},
year = {2019}
}