使用色散傅里叶变换谱仪表征超导 NbTiN 薄膜
超导电性
2021-10-27 v1
摘要
我们搭建了一台太赫兹色散傅里叶变换谱仪 \cite{Birch1987}，用于研究制备 THz 探测器所用超导薄膜的频率特性。从被测薄膜反射的信号在时域测量，从而可将其与其他反射分离。薄膜的复电导率依赖于频率并决定反射系数。通过将超导态（温度低于 ）下的薄膜反射与正常态反射进行比较，我们表征了薄膜在太赫兹频率下的质量。该方法应用于硅片上的 70 和 200nm 厚 Nb 薄膜，以及硅片和石英片上的 360nm 厚 NbTiN 薄膜。强耦合系数 对 Nb 为 3.52，对 NbTiN 薄膜为 3.71-4.02。实验结果使用扩展 Mattis-Bardeen 理论 \cite{Noguchi2012} 拟合，显示出良好的一致性。
引用
@article{arxiv.2110.01305,
title = {Characterization of superconducting NbTiN films using a Dispersive Fourier Transform Spectrometer},
author = {B. N. R. Lap and A. Khudchenko and R. Hesper and K. I. Rudakov and P. Dmitriev and F. Khan and V. Koshelets and A. M. Baryshev},
journal= {arXiv preprint arXiv:2110.01305},
year = {2021}
}
备注
The following article has been accepted by Applied Physics Letters. After it is published, it will be found at https://aip.scitation.org/journal/apl