Al0.6Sc0.4N-on-SiC 共振器中的瑞利波抑制
广义相对论与量子宇宙学
2024-07-31 v1 高能物理 - 唯象学
高能物理 - 理论
摘要
我们报告了制造一种由掺杂硅氮化铝(AlScN)薄层(硅浓度为40 at%)构成的混合 SAW/BAW 共振器。利用垂直电场激发的塞泽华模式，借助 d31 压电系数在 AlScN 中传递纵向声波。通过深紫外(DUV)光刻定义的互指换能器(IDT)的 pitch 决定共振频率。该共振模式在压电层中传播，由于压电材料与衬底材料之间声波相位速度的失配而无需渗透至衬底中。我们展示了压电层和IDT厚度对两种共振模式的影响。重要的是，我们展示了如何通过使用薄压电和电极层有效抑制瑞利模。尽管AlScN的沉积在实现较大耦合系数 k_eff^2 方面仍面临挑战，我们展示了如何通过IDT实现良好的波束 confinement 以获得良好的品质因子。我们还展示了如何通过修改IDT的反射率来设计制止带，以防止在共振与去共振频率之间激发不需要的模式。最后，我们验证了与制造和测量设备的仿真结果，并提出了本共振器架构的可能改进方案。
引用
@article{arxiv.2407.20285,
title = {Can we learn from matter creation to solve the $H_{0}$ tension problem?},
author = {Emilio Elizalde and Martiros Khurshudyan and Sergei D. Odintsov},
journal= {arXiv preprint arXiv:2407.20285},
year = {2024}
}
备注
To appear in EPJC