结合多 tapping 谐波的 s-SNOM 复介电常数测量校准方法
光学
2023-05-29 v1
摘要
散射型扫描近场光学显微镜（s-SNOM）可实现亚衍射光谱，对样品表面微小空间介电常数变化具有高灵敏度。然而，由于近场探针-样品相互作用，复介电常数的定量提取导致计算繁重的反问题，需将系统进一步近似为可逆模型。类似于应用于微波矢量网络分析仪的黑盒校准方法，可在无需探针-样品相互作用详细电磁建模的情况下提取介电常数。但这些方法通常针对静止装置设计。相比之下，s-SNOM 样品与探针尖的距离被缓慢调制，这是用于提取埋于远场背景中近场相互作用的锁相探测所必需的。在此我们提出一种显式考虑探针 tapping 的改进校准方法。我们将其应用于工作中红外光谱范围的 s-SNOM，通过对具有不同但表征良好的掺杂的硅微结构测量来验证该方法。
引用
@article{arxiv.2305.17031,
title = {Calibration method for complex permittivity measurements using s-SNOM combining multiple tapping harmonics},
author = {Dario Siebenkotten and Bernd Kaestner and Arne Hoehl and Shuhei Amakawa},
journal= {arXiv preprint arXiv:2305.17031},
year = {2023}
}
备注
9 pages, 3 figures