用于纳米尺度介电和电导率成像的具有电屏蔽功能的批量制造悬臂探针
仪器与探测器
2013-01-14 v1 介观与纳米尺度物理
材料科学
摘要
本文介绍了用于扫描微波阻抗显微镜的具有电屏蔽功能的批量加工悬臂探针的设计与制造。定义电分辨率的针尖顶端直径小于 50 nm。带状线的宽度和绝缘介电层的厚度经过优化，以实现小的串联电阻（< 5 ）和小的背景电容（~ 1 pF），这两者对于在各种样品上进行高灵敏度成像至关重要。同轴屏蔽确保只有探针尖端与样品相互作用。悬臂结构设计为对称，以平衡不同层的应力和热膨胀，从而使悬臂在可变温度下保持平直。这种晶圆级生产的屏蔽悬臂探针将促进纳米尺度介电和电导率成像的广泛应用。
引用
@article{arxiv.1301.2402,
title = {Batch-fabricated cantilever probes with electrical shielding for nanoscale dielectric and conductivity imaging},
author = {Yongliang Yang and Keji Lai and Qiaochu Tang and Worasom Kundhikanjana and Michael A Kelly and Kun Zhang and Zhi-xun Shen and Xinxin Li},
journal= {arXiv preprint arXiv:1301.2402},
year = {2013}
}