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异构集成 GaAsSb/Si 光电二极管的主动界面特性

应用物理 2024-07-29 v2 材料科学

摘要

对 various compound semiconductors 与 Si 进行异构集成以应用于多种电子和光子应用已受到广泛关注。本文聚焦于将 GaAsSb(在 1550nm C 带吸收)与硅集成以制备光电二极管,采用等倾层转移(ELT)方法。比较两种 ELT 技术,即等倾掘离(ELO)和宏传递打印(MTP),将 GaAsSb 薄膜从 InP 衬底转移至 Si,构成 PIN 二极管。通过原子力显微镜(AFM)和透射电子显微镜(TEM)进行表征,显示高质量、无缺陷的界面。电荷-电压(IV)测量和电容-电压(CV)分析验证了异质结构的质量和功能性。在室温和 200 K 下进行光电流测量,显示器件在 1550nm 处具有光响应,突出存在活跃界面的特征。

关键词

引用

@article{arxiv.2407.17607,
  title  = {Active Interface Characteristics of Heterogeneously Integrated GaAsSb/Si Photodiodes},
  author = {Manisha Muduli and Yongkang Xia and Seunghyun Lee and Nathan Gajowski and Chris Chae and Siddharth Rajan and Jinwoo Hwang and Shamsul Arafin and Sanjay Krishna},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2407.17607},
  year   = {2024}
}

备注

14 pages, 5 figures, Pages 15-16 supplementary information